风囊气缸泵采用压缩空气为动力，风囊泵中两个风囊将泵腔分为两个工作腔，每个工作腔分为气相工作腔和液相工作腔两部分，压缩空气进入泵的气相工作腔后，压缩风囊变形移动，通过换向阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，实现对液体的输送。与隔膜泵的区别：最大的区别是用风囊替代了隔膜，更适用于连续不间断运行，输送的液体脉动较隔膜泵小，使用寿命长泵概述PXA系列泵是一种理想的解决方案，应用于高纯化学品的循环，温度高达度的应用，需要用接近开关传感器来优化系统的控制。TeflonPTFE和PFA泵使用接近开关和外部的电磁阀控制。可以安全可靠的在两年的保修期内运行。最高允许工作压力7公斤(psi)，最高可以在度无需冷却水的热循环中使用。该泵泵均有三种型号PXA,PXA和PXA、最大流量为30、60和升/每分钟。泵的特点及优点：1.过程安全的TeflonPTFE和PFA液体通路2.防漏的机加工设计3.聚丙烯泵头封装有不锈钢接近开关的感应目标4.无橡胶O形圈、不漏水、无需紧固5.变速机构中无润滑剂6.无电机、无发热7.各种液体连接选项的8.安全、无泄漏操作由于无金属设计9.最少的零件耐用的设计10.级洁净室装配、测试和封装11.易于安装和维护12.双接近开关13.强大的波纹管的设计能使压力达到7Bar(psi)14.在两年的保修期内不会有任何预防性维护泵的操作：PXA系列泵采用电磁阀和接近开关控制可快速有效地提高耐久性。泵的更多控制：1.泵通过控制板上的穿梭阀进行控制2.泵通过光纤传感器控制泵的温度范围：泵的温度选项：1.泵输送液体温度可高达°C2.泵输送液体温度可高达°C泵的尺寸和性能：PXA的性能曲线PXA泵尺寸图泵的规范泵的部件：液体中的联动轴WhiteKnight高纯泵通过独的有密封方式、不含金属的设计、紧凑的体积、无需润滑等特点满足半导体厂的要求。通过液体通路中间放置液体中的连接轴允许很小行程，从而节省了泵在设备和洁净室的空间和成本气动逻辑WhiteKnight气动逻辑的换向阀依靠重力可以每一次在任何位置重新起动。有没有制动器故障，没有密封疲劳和没有办法的空气压力集中在关闭阀门。气动逻辑使用空气压力来迫使阀芯到年底的每个笔画,而不是减轻压力空气在每个冲程。波纹管技术在泵内部，波纹管承受着工作负荷的冲击。WhiteKnight独有的长寿命波纹管设计和多年成熟的TeflonPTFE制造经验。是由%的PTFE粉末压制而成，这使它们非常适合用于处理苛刻的化学品使用的晶圆制造工艺。WhiteKnight设计的波纹管提供了最少多万次切换周期。榫和槽型密封件WhiteKnight泵独有的榫和槽型密封件技术是最可靠和可重复使用的。密封件被加工成充当液体泄漏障碍交配泵零件。设计时让凸出的部分刚好凹进去的部分完全的塞住,提供了可靠、有效的密封。行程检测WhiteKnight的行程检测选项使泵进行电子监控，并允许在输送条件变化时立即通知。他们简化其他电子监控泵更换，还可以用来登记泵转速或其他条件变化。每当泵到达一侧的尽头时，双头光纤判位组件使用位于泵两侧的光传感器侦测。此信号可用于控制换向阀,或它可能被发送到计算机监控系统。漏液检测WhiteKnight提供不同的泄漏检测。因为化学品被抽走非常适用确保危险区人员安全。光纤和电阻式测漏传感器都是可用的。光纤探头螺牙于空气一侧的装入泵头最低点在和被传送回监测站的传输信号。可更换的零件WhiteKnight泵只能使用原厂备件将磨损的零件替换掉。提供了一种长寿命的泵，不需要更换泵。同时也将更容易使用的某些部分,主泵组件的磨损表面的白色士走到麻烦的工程可更换的耐磨表面的地方移动的零件创建的磨损。支持线程连接WhiteKnight支持线程提供更强的螺纹连接和增加安全性的螺纹连接部分之间由柔软的材料如塑料和含氟聚合物。WhiteKnight的45加90线程梯形螺纹处的负载线，而不是截然。连接防止泵体和泵头部从在高温下的分离。轴密封压力的液体WhiteKnight泵独有的密封方式，可以让泵在任何工作压力下实现完美的密封。轴密封圈放入密封的位置的压力的液体会被抽走。密封件在轴上收紧时泵送压力高，并且被减压密封的力减小。这是利有TeflonPTFE高弯曲性，但是低弹性的TeflonPTFE也能非常好的密封化学品。换向方法WhiteKnight专利的换向方法，提供了更可靠的换向阀。这些控制阀的独特设计确保移动部件，因为它们打开和关闭以线性方式全等带泵运动，而不使用线性密封不会影响阀或其密封的磨损。这使得密封构造含氟聚合物材料而且有弹性。高流量单向阀WhiteKnight的高流量止回阀优化吸程，并提供高压的能力。高流量止回阀减少空化风险。该设计的圆锥形流动路径可同时提供更快的响应，比标准止回阀流动阻力小。高流量单向阀含有不同的含氟聚合物材料属性,极大地提高了阀的使用寿命和性能。Synchro-ThreadSynchro-Thread适用在高温环境中、额定温度高达°C。Synchro-Thread的设计提供了面和双倍的螺纹、可靠的密封。Synchro-Thread确保了高达°C温度下零件和本体之间不会产生泄漏。可在PFU,PSU和PXU系列泵。风囊泵常见故障现象及判定：风囊由于破损及变形，容易导致漏液及运行故障一、供液压力不足，表现为泵动作频率不稳定，除外界气源压力不足外，重点考虑风囊变形导致泵工作不稳定。（表现为老化或化学品杂质进入）二、泵体端盖处漏液，除密封损坏外，重点考虑风囊破损导致漏液（达到使用限度等不可抗力因素）三、泵体动作迟缓，管道压力偏高，由于风囊泵本身的输出液体压力小于等于风囊泵气源压力，故可判断为管道憋压导致；（调低气源压力）四、泵体动作频繁，但管道压力不足，除进液有空气外，可判断为风囊破损导致；

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