一真空箱氦检（4箱联动）组成：

真空系统﹑氦检系统﹑产品管路﹑电气控制系统﹑气动元器件﹑工装夹具等

1、真空系统

l腔体粗抽空泵

l腔体精抽空泵

l产品抽空泵

l高精度真空计

l高品质真空阀

功能：抽空系统的功能是对真空箱及产品进行抽空排气，为氦检漏提供真空环境。

2、氦检系统

l高灵敏度氦质谱仪

功能：使用氦气作为检漏示踪气体，对被检测产品进行泄漏检测。

3、产品管路

l阀门：电磁阀

l压力传感器

l高压管路

l安全阀

功能：通过产品管路对产品进行抽空、充氮、充氦及氦气回收。

4、电气控制系统

lPLC

l触摸屏

l强弱电电气元件

l安全门

l按钮及指示灯

功能：采用PLC和触摸屏控制。系统将按照PLC系统预设程序完成各种动作，设备的操作和设备运行状态信息将在触摸屏上完成和显示。

本设备工作模式可分为自动模式、手动模式两种工作模式。在一般情况下系统工作在自动模式下运行，设备在维护检修时可切换成手动模式。

设备状态监控及生产过程控制，运行过程中系统对本设备状态如真空压力、产品压力、氦质谱仪状态、阀门及气缸位置状态进行监控及显示

系统设定功能，本机运行的所有相关参数均面向客户，可根据系统运行情况进行在线修改设置，对系统参数进行分级处理，提供不同的等级权限密码。

故障报警及诊断，对于设备运行中的各种故障和警告信息都将在线实时给出报警提示，报警采取声光提示，同时在屏幕上显示具体报警信息。

安全保护，系统提供安全门、安全继电器、急停按钮对操作人员及设备进行保护。

5、气动控制系统

控制阀门气缸动作的辅助气动元件

6工装夹具

专业制作各种高可靠性工装，有近20年的工装设计制作经验！对产品起到密封作用，保证充入压力的氦气管路连接处无泄漏，确保生产节拍，满足客户需求！

二、气路图

三设备原理

真空泵泵组对真空箱进行抽真空，达到一定真空度，打开质谱仪，然后产品内充入一定压力的氦气，如果有泄漏，会直接被质谱仪检测出来，测试结束后残余氦气被回收循环使用

四工艺流程

氦检流程：

l真空箱关闭，自动压紧密封工件；

l装置自动对真空箱抽空，并向工件内充入高压气体，对工件进行耐压检测（2.1耐压检测不合格，装置自动对工件和真空箱充气开门，机械手将不合格工件取出）；

l对工件抽真空，（检本底、本底抑零显示）；

l对工件内充氦，并真空检微漏；

l真空箱体放气，并对工件内氦气回收；

l自动开箱门，取出工件，放入合格辊道内。

一氦气回收系统组成：

本系统是由高压罐低压罐﹑平衡罐﹑回收泵﹑压缩机﹑气动先导阀﹑浓度检测仪﹑压力检测元件﹑安全阀﹑过滤装置组成

二氦气回收系统原理

1首先通过压力平衡将产品测试氦气回收到平衡罐，达到一定压力

2产品残余氦气通过真空泵抽到低压罐，提高氦气回收效率

3低压罐压力达到一定压力后，通过压缩机将平衡罐及低压罐的氦气打到高压罐当中循环使用

三本系统特点：

1后期可升级添加压缩机和储气罐，集中氦回收供气；

2选取合适的平衡罐及高压罐，可避免压缩机频繁启停，极大延长压缩机使用寿命，比其他品牌回收系统节能至少30%以上

3定时自动检测氦气浓度，浓度低于一定范围可实现自动补气提升氦气浓度

%以上回收效率，适用压力范围广1--bar