三坐标测量机属于高精密测量设备，目前市场上的测量机多采用空气轴承导向，导轨与气浮轴承之间无摩擦，可以保持长期的性能一致性。

其工作原理是：高压气体通过气孔进入工作面与导轨面之间，形成均匀气膜，正常工作气膜间隙保持在3-10μm。因此压力正常条件下，保证压缩空气的纯净度、导轨面的平面度、清洁度是空气轴承正常工作的关键。也是测量机可以正常运行的关键因素。保证空气轴承正常工作，压缩空气必须符合ISO-1标准：含水量：6g/m、含油量：5m/m、微粒大小15μm；浓度8g/m

不达标的气源，对测量机的平稳运行有潜在的威胁：

1、压缩空气中的微尘含量或颗粒大小超标，可能引起空气轴承出气孔堵塞，导致其无法浮起，划伤导轨或空气轴承，测量机无法正常使用；

2、压缩空气中的油水量超标，会在测量机导轨面产生油迹或水迹，影响测量机正常使用，精度超差，同时过大的运动阻力对驱动电机也存在潜在风险；对气缸壁及活塞造成腐蚀，长期结果就是气缸漏气，Z轴失去平衡，撞坏测座。

为了保证测量机的正常运行，避免以上事故发生，建议及时更换污染严重的滤芯，对于压缩空气，增加多级过滤器。确保进入三坐标测量机的压缩空气无油、无水、无尘，确保测量机的平稳运行。

保持三联件的清洁：

空气过滤器安装建议：